方塊電阻測試儀st-21 是四探針方塊電阻測試儀中的新一代產(chǎn)品，是一種依照類似國家標(biāo)準(zhǔn)和美國a.s.t.m標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)，專門測量半導(dǎo)體方塊電阻(或稱薄屋電阻、面電阻，單位ω/□)的新型儀器?？捎糜跍y量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(如ito透明導(dǎo)電氧化膜)……等同類物質(zhì)的薄層電阻。