干燥箱/烘箱產(chǎn)品及廠家

有降溫功能真空烘箱，300度可降溫真空烤箱

有降溫功能真空烘箱，300度可降溫真空烤箱用于鍵合預(yù)處理，晶圓，芯片，電容，電池，封裝，光刻膠固化，pi固化等

更新時(shí)間:2025-12-31

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恒溫恒濕箱

恒溫恒濕箱，控制器采用temi-300型溫濕度控制器是廣州慶瑞電子科技有限公司自行研制生產(chǎn)的新一代高科技產(chǎn)品;是國內(nèi)率先開發(fā)研制成功利用干濕球測量并控制溫度、濕度的控制器。它具有全自動(dòng)節(jié)能控制空壓機(jī)、全自動(dòng)pid自整定功能，主要用于恒溫恒濕試驗(yàn)設(shè)備配套使用。

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無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱

無塵烘箱，不銹鋼無塵烤箱用于ic生產(chǎn)中烘、后烘烤、堅(jiān)膜、裝片機(jī)后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。

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不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱

不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應(yīng)用于目關(guān)鍵的半導(dǎo)體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅(jiān)膜烘烤，裝片機(jī)后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在led制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無機(jī)材料行業(yè)中用于材料高精度工序。

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充氮PI烘箱，PI充氮烤箱

充氮pi烘箱，pi充氮烤箱升溫速率可控，設(shè)定工藝曲線，一鍵運(yùn)行；輔助降溫縮短降溫時(shí)間，提高生產(chǎn)效率；可達(dá)到低氧環(huán)境，固化效果更佳。

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HMDS涂膠機(jī)，智能型HMDS涂膠機(jī)，HMDS自動(dòng)涂膠機(jī)

hmds涂膠機(jī)，智能型hmds涂膠機(jī)，hmds自動(dòng)涂膠機(jī)將hmds涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

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氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠?，不銹鋼充氮烘箱

氮?dú)夂嫦?，四箱氮?dú)饪鞠?，不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

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抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)

抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)在納米壓印工藝中模具在進(jìn)行壓印要進(jìn)行預(yù)處理，當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時(shí)，有2種可能，一種是模具可完全脫離，壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來，使得壓印圖形無法保留，而這些粘在模具上的膠也會(huì)污染模具。因此模具在使用，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

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抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘劑真空預(yù)處理系統(tǒng)

抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘劑真空預(yù)處理系統(tǒng)給模板制備抗粘層，制備抗粘層的方法以及模板的結(jié)構(gòu)也會(huì)影響到終的抗粘效果。當(dāng)模板結(jié)構(gòu)在100nm以下時(shí)，在液相中制備的抗粘層就不能完全起到抗粘的作用。這是因?yàn)樵谀０宓慕锹渲袝?huì)滯留一部分空氣而導(dǎo)致抗粘材料無法到達(dá)這些位置然而，若采用氣相的方法則不存在這樣的問題。

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半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱

半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)

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高溫百無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱

高溫百無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱用pi、bcb 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求

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程控式氮?dú)鉂崈艨鞠洌南涑涞嫦?/a>

程控式氮?dú)鉂崈艨鞠?，四箱充氮烘?></a>
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程控式氮?dú)鉂崈艨鞠洌南涑涞嫦涔ぷ魇覂?nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，可設(shè)定定值運(yùn)行、程序（曲線）運(yùn)行自由切換，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制，并附設(shè)有超溫自動(dòng)停止加熱及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。

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抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)

抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（nil）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中hmds增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,led,mems,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

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智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)

智能型hmds涂膠機(jī)，自動(dòng)hmds涂膠鍍膜機(jī)也稱為hmds處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

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百三箱潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱定制

百三箱潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱定制應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、治具干燥、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃、四氟材料等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

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晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百烤箱

晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百烤箱定制用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門

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潔凈氮?dú)鉄犸L(fēng)烘箱，精密充氮烘箱

潔凈氮?dú)鉄犸L(fēng)烘箱，精密充氮是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動(dòng)斷開加熱及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。

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無氧烘箱，無氧烤箱氧濃度儀

無氧烘箱，無氧烤箱氧濃度儀應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb、lcp固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )

hmds預(yù)處理系統(tǒng)(js-hmds90 )將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）

智能型hmds真空系統(tǒng)（js-hmds90-ai）將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

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三箱式百無塵烤箱，電子百潔凈烘箱

三箱式百無塵烤箱，電子百潔凈烘箱采用彩色觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線記錄、查詢 pid自整定、高溫上限報(bào)警、運(yùn)行方式：定值、程式語言：中、英文

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全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈烘箱定做

全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈烘箱定做潔凈度class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境

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智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)

智能型無塵無氧烘箱(pi固化厭氧烤箱)采用人機(jī)界面+plc，智能控制模式，可一鍵完成作業(yè)。人機(jī)界面采用觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。

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真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）

真空無氧化烤箱（bcb厭氧固化烤烘箱）是將涂敷bcb或pi的襯底放入真空無氧烘箱中，通入n2→真空置換后，采用多升溫保溫的方式，在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時(shí)間從一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

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高溫真空無氧烤箱，真空無氧化固化爐

高溫真空無氧烤箱，真空無氧化固化爐操作界面：人機(jī)界面+plc，可一鍵運(yùn)行，多個(gè)工藝編輯；溫度測量：k型熱偶；控制儀表：高精度溫度控制器，pid調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器可選擇

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雙門氮?dú)夂嫦涠ㄖ?，可充氮熱風(fēng)循環(huán)烘箱

雙門氮?dú)夂嫦涠ㄖ?，可充氮熱風(fēng)循環(huán)烘箱箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；內(nèi)室材料：采用sus304＃無磁性鏡面不銹鋼；

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可程式真空干燥箱，快速降溫真空烘箱

可程式真空干燥箱，快速降溫真空烘箱用于鍵合鍵合材料的真空固化、ito膜退火，bcb/pi膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場所。

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聚酰亞胺PI無氧烘箱，氮?dú)鈦啺坊嫦?/a>

聚酰亞胺pi無氧烘箱，氮?dú)鈦啺坊嫦鋺?yīng)用于精密電子元件、pi、cpi/pbo/lcp/bcb膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求

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后曝光氮?dú)夂嫦?，PEB無塵烘箱

后曝光氮?dú)夂嫦?，peb無塵烘箱所使用的高溫（100-130°c）會(huì)使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋.百潔凈度無塵化，用于半導(dǎo)體，集成電路

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潔凈無氧烘箱，氮?dú)鉄o氧烘箱

潔凈無氧烘箱，氮?dú)鉄o氧烘箱聚酰亞胺作為鈍化層和緩沖保護(hù)層在微電子工業(yè)上應(yīng)用非常廣泛。pi 涂層可有效地阻滯電子遷移、防止腐蝕。pi 層保護(hù)的元器件具有很低的漏電流，可增加器件的機(jī)械性能，防止化學(xué)腐蝕，也可有效地增加元器件的抗潮濕能力。pi 薄膜具有緩沖功能，可有效地降低由于熱應(yīng)力引起的電路崩裂斷路，減少元器件在后續(xù)的加工、封裝和后處理過程中的損傷；

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HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱

hmds疏水烘箱，hmd真空烘箱是涂膠對硅片表面進(jìn)行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

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六箱體氮?dú)夂嫦?，多倉式潔凈烘箱

六箱體氮?dú)夂嫦?，多倉式潔凈烘箱于光刻膠固化、堅(jiān)膜烘烤、治具干燥、芯片封裝、碳化硅襯底生產(chǎn)、外延片烘烤、墨點(diǎn)烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能

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HMDS黏附機(jī) 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

hmds黏附機(jī) 光刻膠hmds烘箱 hmds疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅，石英，太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、sic(碳化硅)、磷化銦、gan(氮化鎵)、zno（氧化鋅）、gao（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

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HMDS烘箱圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 六甲基二硅氮烷涂膠機(jī)

hmds烘箱圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) 六甲基二硅氮烷涂膠機(jī)使用hmds（六甲基二硅氮烷）對晶圓表面進(jìn)行快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效的涂布，以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統(tǒng)還支持圖像反轉(zhuǎn)，形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負(fù)圖像。

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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱智能型HDMS預(yù)處理烘箱

hdms烘箱 hdms真空烘箱智能型hdms預(yù)處理烘箱保護(hù)裝置：緊急停止，hmds藥液泄漏報(bào)&警提示，hmds低液位報(bào)&警，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

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程控真空干燥箱可程式真空烘箱真空烤箱

程控真空干燥箱可程式真空烘箱真空烤箱在實(shí)驗(yàn)室、制藥、電子等行業(yè)，干燥工藝的效率與精度直接影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果與產(chǎn)品質(zhì)量。

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紫外固化烘箱真空紫外烘箱 UV固化真空烤箱

紫外固化烘箱真空紫外烘箱 uv固化真空烤箱主要應(yīng)用于uv膠水、uv 油墨、uv光油、uv 油漆、uv 涂料、薄膜等 uv 光感材料的固化，3d打印固化，新型材料改性、高分子化學(xué)、半導(dǎo)體材料光固化，以及高等院校和科研機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)室研究。

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